Veiksniai, darantys įtaką plėvelės stresui PECVD

Kokie veiksniai daro įtaką PECVD plėvelių stresui? Kokie yra kiekvieno pranašumai ir trūkumai?

Imdamasis sih 4+ nh3/n2, kad susidarytų „Sinx“ plonos plėvelės, ir sih 4+ nh 3+ no2, kad sukurčiau plonus plėveles, aš čia apibendrinau keletą taškų, be abejo, neapsiribojant, neapsiribojant, neapsiribojant. Šie veiksniai: temperatūra, galia/slėgis, dujų sudėtis, dažnis ir praskiestų dujų kiekis.

Temperatūra (SINX plėvelė)

Kuo aukštesnė temperatūra, tuo didesnis tempimo įtempis.

0010-37264 apvalios kameros daugialypės lizdo asilas

Galia/slėgis (SINX filmas)

Kaip parodyta aukščiau esančiame paveikslėlyje, esant mažesniam slėgiui (400 mTorr), įtempiai visomis galios sąlygomis yra linkę į gniuždomąjį įtempį; Didėjant slėgiui, suspaudimo įtempis palaipsniui keičiasi į tempimo įtempį; Esant didesniam slėgiui (600-700 mTorr), įtempiai yra tempiami įtempiai. Teigiamas ir neigiamas diagramos slėgis yra atitinkamai tempimo ir tempimo įtempiai. Dujų tipai ir proporcijos (Siono plėvelės)

Kaip parodyta aukščiau esančiame paveikslėlyje, didėjant N2O/NH3 santykiui, plėvelė palaipsniui keičiasi nuo tempimo įtempio iki gniuždomojo streso. Žemo dažnio moduliacija (SINX plėvelės)

0040-22451 pjedestalas 150 mm COOLDOWN, 3 taškų kontaktas

Kaip parodyta aukščiau esančiame paveikslėlyje, plėvelės įtempis pamažu keičiasi nuo tempimo įtempio iki gniuždymo įtempio, nes padidėja laiko, praleisto energijos tiekimui žemu dažniu, dalis. Praskiestų dujų kiekis

Kaip parodyta aukščiau esančiame paveikslėlyje, kai jis pamažu didėja, kai jis pamažu didėja, plėvelės stresas pamažu keičiasi nuo tempimo įtempio iki gniuždomojo streso. Todėl filmo proceso reguliavimą dažnai reikia koreguoti iki optimalios vertės, o visi per dideli ar per maži proceso parametrai sukels netobulą plėvelės kokybę.

 

Pabaiga