Nyderlandai, ne tik ASML

0200-09315 „HChuck“, ESC dangčio žiedas, keramikinis

0200-36105 KAMEROS 200 MM TXZ CIP

 

 Nyderlandai, ne tik ASML

ASML, viršininkasLitografijaMskausmai,Sišsiskleidžia

Kaip Nyderlandų puslaidininkių pramonės brangakmenis, ASML užima pagrindinę vietą pasaulinės puslaidininkinės įrangos gamybos srityje. ASML yra didžiausias Nyderlandų eksportuotojas, didžiausias Nyderlandų technologijų darbdavys ir didžiausias pasaulyje lustų įrangos gamintojas. Taip yra daugiausia dėl ASML litografijos mašinų. 2024 m. rugsėjo 24 d. ASML rinkos kapitalizacija yra 322,9 mlrd. 2023 m. ASML visų metų grynieji pardavimai siekė 27,6 milijardo eurų, o bendrasis pelnas – 51,3%, o grynasis pelnas – 7,8 milijardo eurų.

Litografija yra nepakeičiamas pagrindinis žingsnis šiuolaikinėje lustų pramonėje, o pažangi litografijos mašina yra žinoma kaip "karūnos brangakmenis" integrinių grandynų įrangos gamybos pramonėje. Litografijos aparatas daugiausia atsakingas už tikslų integrinio grandyno išdėstymo projektavimą ant plokštelės. Litografijos aparatas – tai tikslią optiką, tiksliąją mechaniką, automatikos valdymą ir programinės įrangos inžineriją integruojanti sistema, kuri ne tik turi pasiekti itin didelę ekspozicijos skiriamąją gebą, bet ir pasižymi itin dideliu pakartojamumu bei padėties nustatymo tikslumu.

Litografija yra nepakeičiamas pagrindinis žingsnis šiuolaikinėje lustų pramonėje, o pažangi litografijos mašina yra žinoma kaip "karūnos brangakmenis" integrinių grandynų įrangos gamybos pramonėje. Litografijos aparatas daugiausia atsakingas už tikslų integrinių grandynų išdėstymo projektavimą. Daugiau nei prieš 30 metų visą litografijos mašinų rinką monopolizavo Nikon, kurią Jungtinės Valstijos GCA ir Japonija. Šiandien, praėjus 30 metų, Jungtinės Valstijos beveik neturi litografijos mašinų pėdsakų, o Nikon atsilieka, tačiau ASML litografijos mašinos yra nepralenkiamos. Nuo beveik nieko 1984 m. iki neginčijamo litografijos mašinų lyderio – ASML turi daug neišpasakytų istorijų.

XX amžiaus devintajame dešimtmetyje ASML prasidėjo sunkiai. 1984 m. elektronikos milžinė Philips ir lustų mašinų gamintoja Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) įkūrė ASM Lithography, esančią nesandarioje pastogėje šalia Philips biuro Eindhovene, Nyderlanduose, tais pačiais metais ASML pristatė savo pirmąją sistemą, PAS 2000 stepper. 1985 m. ASML dirbo 100 darbuotojų ir ji persikėlė į naują biurą ir gamyklą Feldhofene. 1986 m. ASML pristatė PAS 2500 stepper ir tais pačiais metais užmezgė partnerystę su ZEISS. 1988 m. „Philips“ pradėjo eiti į Azijos rinką po to, kai Taivane įkūrė bendrą įmonę. Tačiau ASML turėjo mažai klientų ir negalėjo išsilaikyti, o dar blogiau – jos akcininkė ASMI nesugebėjo išlaikyti aukšto investicijų lygio ir nusprendė pasitraukti. Padėtis pasaulinėje elektronikos pramonėje pablogėjo, o „Philips“ taip pat paskelbė apie didžiulę išlaidų mažinimo programą. ASML yra ant linijos. Galiausiai „Philips“ valdybos narys Henkas Bodtas įtikino savo kolegas ištiesti paskutinę pagalbos ranką.

XX amžiaus 90-aisiais ASML ėjo teisingu keliu ir oficialiai paskelbė IPO. Per šį dešimtmetį ASML pristatė novatorišką platformą PAS 5500, kuri taip pat yra ASML „ilgiausiai gyvuojanti“ litografijos sistema. ASML pažymi, kad daugiau nei 90 % PAS 5500 vis dar yra aktyvūs įvairių segmentų gamybos linijose, o jų tarnavimo laikas bus pratęstas bent iki 2035 m. PAS5500 buvo reikšmingas ASML, padėjęs įgyti pagrindinį klientą iš IBM, kuris katapultavo mažiau nei dešimties metų senumo startuolis, kuris 90-ajame dešimtmetyje užėmė antrąją vietą rinkoje. 1995 m. ASML tapo visiškai nepriklausoma akcine bendrove, įtraukta į Amsterdamo ir Niujorko vertybinių popierių biržas. „Philips“ pardavė pusę savo akcijų per IPO, o likusias akcijas pardavė kitais metais.

Ankstyvoji PAS 5500 sistemos reklama

(Šaltinis: ASML oficialus WeChat)

2000-aisiais panardinimo sistemos labai išsivystė. ASML žymiai padidino sistemos skiriamąją gebą naudojant panardinimo technologiją ir žymiai padidino produktyvumą naudojant revoliucinę dviejų pakopų TWINSCAN technologiją. 2003 m. buvo pristatytas pirmasis pramonėje panardinamasis aparatas TWINSCAN AT:1150i, po to TWINSCAN XT:1250i, XT:1400i, o 2006 m. – pirmoji panardinimo mašina XT:1700i. 2007 m. ASML pristatė TWINSCAN XT:1900i panardinimo sistemą, kuri turi didžiausią skaitmeninę 1,35 diafragmą pramonėje.

Nuo 2010-ųjų ASML pristatė EUV litografijos technologiją, kuri dar kartą pakeitė puslaidininkių pramonės veidą. 2010 m. pirmasis EUV litografijos aparatas TWINSCAN NXE:3100 buvo išsiųstas į Azijos lustų gamintojo tyrimų centrą. 2013 metais pristatyta antros kartos EUV sistema NXE:3300, o 2015 metais – trečios kartos EUV sistema NXE:3350. 2016 m. EUV litografija pasiekė lūžio tašką, kai klientai pradėjo teikti masinius ASML pirmosios gamybai paruoštos sistemos NXE: 3400 užsakymus. NXT1970Ci ir NXT1980Di tapo pagrindiniais lustų pramonės atramais.

Šaltinis: ASML oficiali svetainė

Artėjant 2020-iesiems, niekas negalėjo numatyti iššūkių, su kuriais pasaulis susidurs naujojo dešimtmečio pradžioje. Tačiau ASML ir toliau be baimės juda į priekį. 2020 metų pradžioje EUV įžengė į masinės gamybos etapą, o ASML išsiuntė 100 EUV sistemų. 2023 m. gruodžio mėn. ASML „Intel“ pristatė pirmuosius pirmosios didelės NA EUV litografijos sistemos TWINSCAN EXE:5000 modulius, kurie bus reikšmingas žingsnis į priekį pažangiausių lustų gamyboje.

Šiais metais sukanka 40 metų ASML, kuri visada reikalavo naujovių, nuolat laužo technines kliūtis ir jau 40 metų puikiai prisidėjo prie pasaulinės puslaidininkių pramonės plėtros. Šiuo metu ASML aktyviai kuria „panoraminės litografijos“ strategiją, kad patenkintų vis sudėtingesnius lustų gamybos poreikius.

ALD įrangos milžinė ASMI turi ilgesnę istoriją

Tiesą sakant, Nyderlanduose, prieš ASML, yra sena puslaidininkinės įrangos įmonė ASM International NV (santrumpa: ASM), kuri yra pagrindinė ASML įmonė, kurią minėjome aukščiau, ir Philips.

ASM buvo įkurta 1968 m. ir turi 55 metų istoriją. ASM iš pradžių veikė krosnių nusodinimo rinkoje ir pradėjo gaminti šiuos įrenginius Nyderlanduose XX amžiaus aštuntojo dešimtmečio pradžioje.

Nuo tada ASM toliau plėtėsi visame pasaulyje. XX amžiaus viduryje ASMPT buvo įkurta Honkonge ir tapo puslaidininkių surinkimo ir pakavimo įrangos rinkos lydere. 2013 m. ASM atsisakė daugumos ASMPT akcijų, tačiau iki šiol išlaiko mažumą. ASM United States taip pat buvo įkurta XX amžiaus aštuntajame dešimtmetyje ir dabar daugiausia gamina epitaksinę įrangą. XX amžiaus devintojo dešimtmečio pradžioje buvo įkurta ASM Japan, padėjusi pagrindą šiandieniniams plazminiams CVD gaminiams. Vėliau, XX amžiaus viduryje, ASM sukūrė bendrą įmonę su „Philips“, siekdama plėtoti litografijos technologiją, kuri šiandien yra ASML. ASM pardavė ASML akcijų paketą 1988 m.

ASM veikia 16 šalių, taigi tam tikra prasme ASM jau yra pasaulinė įmonė.

ASM pagrindinis dėmesys skiriamas ALD (atominio sluoksnio nusodinimui) ir epitaksijai. ALD verslas yra ASM koziris. Užimdama daugiau nei 55 % pasaulinės rinkos, ASM yra absoliutus lyderis ALD srityje. ALD yra pažangiausias rinkoje esantis nusodinimo metodas, skirtas gaminti itin plonas plėveles, pasižyminčias puikia medžiagų kokybe, vienodumu ir konforminiu išlaikymu. ALD taip pat yra vienas greičiausiai augančių fab įrangos rinkos segmentų, kurio vidutinis metinis augimo tempas (CAGR) nuo 2022 iki 2027 m. turėtų siekti 10–14 proc.

Silicio epitaksija yra antra pagal dydį ASM produktų linija, o silicio epitaksijos (Si Epi) verslas nuolat auga, o ASM siekia iki 2025 m. pasiekti bent 30 % rinkos. Pastaraisiais metais, susijungimų ir įsigijimų būdu, ASM taip pat užėmė palyginti nišinę vertikalių krosnių ir PECVD rinkos nišą.

Šaltinis: ASM finansinė ataskaita

ASM taip pat yra pažangių proceso mazgų kūrimo naudos gavėjas. Per pastaruosius kelerius metus ASM pajamos ir toliau stabiliai augo – nuo ​​1 284 mln. EUR 2019 m. iki 2 634 mln. EUR 2023 m. Įrangos pardavimas sudarė 84 % pajamų, o atsarginės dalys ir paslaugos – 16 %.

2023 m. antrąjį pusmetį ASM gavo reikšmingų užsakymų pirmosios GAA bandomosios linijos veiklai, ir bendrovė mano, kad GAA yra svarbus lūžio taškas įmonei, nes sudėtingesnė GAA įrenginių architektūra padidins ALD poreikį, pvz., daugiau dipolio ir darbo funkcijų sluoksniai, palyginti su ankstesniais technologijų mazgais. Silicio epitaksija (Si Epi) taip pat yra pagrindinė GAA technologija, kuri naudojama kuriant nanoskopus, kurie sudaro tranzistoriaus šerdį.

ASM tikisi, kad 2 nm/GAA įdiegimas didelės apimties gamyboje (HVM) 2025 m. žymiai paskatins logikos / liejyklų pardavimų augimą. Tikimasi, kad iki 2025 m. GAA 2 nm technologija pradės naudoti didelio našumo gamybą ir bus svarbi ASM varomoji jėga. Tikimasi, kad iki 2027 m. logikos / liejyklos išlaidos GAA mazgams sudarys daugiau nei 40% visos WFE rinkos. Ir ASM yra stipresnėje padėtyje nei bet kada.

Nauja maišymo klijavimo įranga: BESI

1995 m. gegužę įkurta BE Semiconductor Industries NV (Besi) yra puslaidininkinės pakavimo įrangos įmonė, kurios būstinė yra Duevenn, Nyderlanduose. Nyderlandų įrangos gamintojas sulaukė rinkos ir investuotojų dėmesio dėl hibridinio sujungimo įrangos, kuri prikabino dirbtinį intelektą. Per visus 2023 metus „Besi“ akcijų kaina pakilo 141% (nuo 56,56 euro 2022 m. iki 136,45 euro 2023 m. pabaigoje), todėl „Besi“ tapo viena labiausiai vertinamų įmonių Europos technologijų sektoriuje.

BESI akcijų kainų pokyčių momentinė nuotrauka

Tačiau nuo šių metų pradžios BESI akcijų kaina krito dar 27 proc. Didelę dalį to lėmė naujas reglamentas: „HBM4 standartą sukūrusi standartizacijos organizacija JEDEC svarsto ketinimą sumažinti HBM4 pakuotės storį nuo 720 mikronų iki 775 mikronų“. "Jei laikomasi šio storio standarto, yra pramonės šaltinių, kad 16-sluoksnis HBM4 gali būti visiškai realizuotas naudojant esamą klijavimo technologiją. Tai reiškia, kad nereikia hibridinio sujungimo technologijos. Norėdami gauti daugiau informacijos, žr. "Įrangos įmonės „Įbaugintas“ naujienos“.

Atsižvelgiant į dabartinę plėtros pažangą, hibridiniai ryšiai vis dar yra pramonės ateities plėtros kryptis. Tai matyti iš „Besi“ 2024 m. hibridinio sujungimo įrangos užsakymų knygelės.

2024 m. gegužės 9 d. Besi paskelbė, kad gavo 26 hibridinių sujungimų sistemų užsakymą iš pirmaujančio puslaidininkių logikos gamintojo. Užsakymas yra naujausios kartos „Besi“ sistemos su 100 nm padėties nustatymo tikslumu ir planuojama pristatyti 2024 m. ketvirtąjį ketvirtį ir 2025 m. pirmąjį ketvirtį.

Richardas W. Blickmanas, „Besi“ prezidentas ir generalinis direktorius, komentavo: „Šio svarbaus užsakymo laimėjimas pabrėžia antrojo pirmaujančio logikos gamintojo įsipareigojimą pritaikyti hibridinio sujungimo surinkimo technologiją savo pažangiausioms duomenų centro programoms. Tai taip pat padeda patvirtinti. geros ilgalaikės perspektyvos ir planas BESI hibridinių sujungimų sistemoms, skirtoms naujos kartos dirbtiniu intelektu susijusioms logikai, atminčiai ir su vartotojais susijusioms kompiuterinėms programoms per ateinantį dešimtmetį.

„Besi“ pajamos pirmąjį 2024 ketvirtį buvo 146,3 mln. EUR, viršijančios vidutinį įvertinimą. 8,3 % sumažėjimą, palyginti su 2023 m. ketvirtuoju ketvirčiu, visų pirma lėmė mažesnės siuntos didelio našumo kompiuterijos ir automobilių galutinių vartotojų rinkose, kurias iš dalies kompensavo didesnės aukštos klasės mobiliųjų programų siuntos. „Besi“ pajamos antrąjį ketvirtį sudarė 151,2 mln. eurų, ty 7% mažiau nei prieš metus ir 3,3% iš eilės, daugiausia dėl didesnių fotonikos ir 2,5D surinkimo programų siuntų. Užsakymų skaičius antrąjį ketvirtį sudarė 185,2 mln. eurų, ty 45,0 proc. daugiau nei prieš metus ir 64,5 proc. daugiau nei per metus, daugiausia dėl didelio 2,5D surinkimo sprendimų, skirtų hibridiniam ryšiui, fotonikai ir dirbtinio intelekto programoms, augimo, kurį iš dalies kompensavo nuolatinis silpnumas. galutinėje automobilių rinkoje.

AFM zondo bendrovė, kurios vertė siekia 1 milijardą dolerių, auga

Be ASML, ASM ir BESI, „Nearfield Instruments“ (vadinamas „Nearfield“) yra dar vienas potencialus puslaidininkinės įrangos gamintojas Nyderlanduose, užsienio žiniasklaida jį giria kaip 1 milijardo dolerių vertės įmonę ateityje. Taigi, kokie yra „Nearfield“ konkurenciniai pranašumai?

2016 m. sausį įkurta „Nearfield“ yra įmonė, teikianti metrologijos ir procesų valdymo įrangą pažangioms puslaidininkių gamybos įmonėms. Bendrovė sukūrė automatizuotą didelio našumo 3D skenavimo zondo metrologijos įrenginį. Ji apima atominės jėgos mikroskopijos (AFM) technologiją, kuri šiuo metu yra tiksliausias ir neardomasis metodas, skirtas optimizuoti ir stebėti sudėtingus CMP ir ėsdinimo proceso etapus.

2020 m. gruodį „Nearfield“ paskelbė apie pirmojo „Quadra“ – pirmosios kartos didelio našumo skenuojančio zondo metrologijos sistemą, skirtą 5 nm ir mažesniam mazgui, siuntimą. Sukurta tiesioginei, įrenginyje esančiai neardomajai trimačiai (3D) metrologijai. Sistema yra labai svarbi siekiant pagreitinti pažangių puslaidininkių gaminių išeigą ir optimizuoti didelės apimties gamybos (HVM) našumą.

Automatizuota didelio našumo 3D skenavimo zondo metrologijos įranga

(Šaltinis: Nearfield svetainė)

Tačiau AFM zondo įranga yra brandi ir dominuojanti rinka. „Bruker“ Jungtinėse Valstijose ir „Park Systems“ Korėjoje sudaro po 20 % AFM zondų rinkos. Nuo pat pirmosios komercinės sistemos įvedimo XX amžiaus devintajame dešimtmetyje Brukeris vadovavo atominės jėgos mikroskopijos galimybių plėtrai. Tačiau AFM zondai yra rinka, turinti gerą potencialą, ir tikimasi, kad pasaulinė AFM rinka padidės nuo 540 mln. USD 2023 m. iki 631 mln. USD 2026 m., ty 5,2 proc. CAGR, teigia pramonės tyrimų įmonė „MarketsandMarkets“. Viena iš ryškių tendencijų, turinčių įtakos AFM zondo rinkai, yra nuolatinė nanotechnologijų pažanga, o puslaidininkių gamybos procesui tobulėjant, reikės daugiau AFM zondo įrangos.

Brandžioje AFM zondų rinkoje prasimušti nėra lengva, o pasikliauti „imitacinėmis mašinomis“ neužtenka, reikia turėti stiprų konkurencinį pranašumą. Tai gali būti gera žinia Nearfieldui.

Pasak Nearfieldo, jo unikali Quadra architektūra pasižymi lygiagrečiu nepriklausomu kelių galvučių veikimu ir galimybe itin greitai, tiksliai nustatyti padėtį ir išlygiuoti. Quadra 100 kartų didesnis pralaidumas, palyginti su kitais automatiniais vieno zondo AFM metrologijos įrankiais, skirtais tiesioginės metrologijos programoms. Be to, didelis Quadra mėginių ėmimo dažnis leidžia klientams atlikti tiesioginį proceso stebėjimą ir nustatyti partijos iki partijos, plokštelės į plokštelę ir vidinės plokštelės proceso variantus. „Quadra“ taip pat turi unikalų naują vaizdo gavimo režimą, vadinamą „Feedforward Trajectory PlannerTM“ (FFTP), kuris leidžia „Quadra“ atlikti didelio formato tankių struktūrų atmintyje (1z ir daugiau) ir loginių įrenginių (3 nm ir daugiau) neardomuosius matavimus. ).

„Nearfield“ pastaraisiais metais tikrai įgavo pagreitį. Liepos mėnesį „Nearfield“ paskelbė, kad gavo 135 milijonų eurų C serijos investiciją. Taip pat gerokai padidino Quadra metrologijos sistemos našumą, o bendrovė neseniai paskelbė, kad gavo kelių mašinų užsakymus iš „vieno Azijos kliento“. Anot Hamedo Sadeghiano, „Nearfield Instruments“ generalinio direktoriaus, pramonėje spėliojama, kad klientas iš Azijos greičiausiai bus „Samsung“.

„Džiaugiamės gavę užsakymą iš vienos pirmaujančių pasaulyje pažangių gamyklų Azijoje, kuri ir toliau agresyviai didina pajėgumus, kad patenkintų augantį pažangios įrangos, tokios kaip HBM, reikalingą dirbtinio intelekto programoms, poreikį“, – sakė jis. „Nearfield“ būstinė yra Roterdame, o biurai yra Eindhovene, Nyderlanduose ir Pyeongtaek mieste, Korėjoje.

Tiesą sakant, tai labai atitinka „Samsung“ poreikius. „Samsung“ susiduria su didelėmis didelės spartos atminties (HBM) gamybos problemomis ir turi skubiai pasivyti „SK hynix“. „Yole Group“ atstovo Vishal Saroha teigimu, „Samsung“ šiuo metu investuoja daugiau nei „SK hynix“ į hibridinio sujungimo įrangą iš Besi. Tai taip pat paaiškina AFM zondų poreikį. Hibridiniam sujungimui reikia labai švarių paviršių ir tikslaus dydžio varinių kontaktų. „Infinitesima“, „Nearfield“ ir pramonės atstovai atkreipia dėmesį į tai, kad poėsdinimas ir post-CMP (cheminis mechaninis poliravimas) yra pagrindinės AFM zondų taikymo sritys, todėl jie idealiai tinka hibridiniam sujungimui HBM gamyboje.

Kaip ASML patyrė viduryje-1990, „Samsung“ buvo labai reiklus klientas. Viena vertus, tokie santykiai suteikia daug informacijos, bet, kita vertus, atima ir visą dėmesį. „Nearfield“ bus iššūkis neišvengiamą „Samsung“ pritaikymo poreikį paversti konkurencingumu.

Kaip ASML patyrė viduryje-1990, „Samsung“ buvo labai reiklus klientas. Viena vertus, tokie santykiai numato, kad Nearfieldui gali būti nelengva per kelerius metus pasiekti 1 mlrd. maždaug pusė aukščiausios klasės pirkėjų (tokių kaip TSMC, Samsung, Intel, SK hynix ir Micron) turi įdiegtą bazę.